簡要描述:diener真空等離子清洗機Femto RIE表面清洗適用6寸以下樣品的處理 用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理配置自動/手動模式,實現控制高機能桌上型,省空間適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
產品目錄
品牌 | Diener | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 化工 | 外形尺寸 | W560?x?D600?x?H860mm |
電源 | AC230?V?/?16?A | 真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H,?極限真空度小于10Pa |
工藝氣路 | 單路,雙路,三路 | 工藝氣體 | O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1 |
diener真空等離子清洗機/低壓等離子系統(tǒng),適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層
德國Diener electronic成立于1993年,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機的高科技企業(yè)。
diener真空等離子清洗機用途:
·適用6寸以下樣品的處理
·用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
·配置自動/手動模式,實現控制高機能
·桌上型,省空間
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
特點:
表面清洗活化
表面蝕刻
可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
參數:
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