等離子體是部分離化的中性氣體，在等離子體中自由電子與中性分子，原子進(jìn)行碰撞，通過(guò)碰撞電離，進(jìn)一步得到更多的電子和離子?；陔娮拥哪芰浚梢垣@得更豐富的離子，激發(fā)態(tài)高能中性粒子等，同時(shí)由于電子吸附在中性氣體表面還可獲得負(fù)離子。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的，等離子蝕刻機(jī)用于刻蝕塑料表面，通過(guò)氧氣可以灰化填充混合物，同時(shí)得到分布分析情況。
 

　　等離子蝕刻機(jī)的原理：等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。等離子與材料表面可產(chǎn)生的反應(yīng)主要有兩種，一種是靠自由基來(lái)做化學(xué)反應(yīng)，另一種則是靠等離子作物理反應(yīng)。通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
 

　　等離子蝕刻機(jī)的應(yīng)用：由于每種氣體在原子分子物理學(xué)中有各自的能級(jí)結(jié)構(gòu)，故高能電子可以將氣體激發(fā)到不同的能級(jí)上，當(dāng)氣體分子、原子從高能級(jí)向低能級(jí)回遷時(shí)將會(huì)輻射出不同能量的光子，不同能量的光子代表了不同的波長(zhǎng)，通過(guò)分析光譜我們可以有效地分析等離子體的刻蝕過(guò)程。該分析診斷過(guò)程常被用于半導(dǎo)體制造中的EDP監(jiān)測(cè)。蝕刻機(jī)可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類和處理程序。不會(huì)對(duì)人員的身體造成任何傷害。