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plasma清洗機在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機是一種非常重要的設(shè)備,用于清潔和處理半導(dǎo)體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來去除表面的有機和無機雜質(zhì),同時可以改變表面的化學(xué)性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機主要用于以下幾個方面:1、清洗表面:在半導(dǎo)體器件的制造過程中,表面往往會被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會影響器件......
一、干式螺桿真空泵簡介干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程,真空度*,可適應(yīng)惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力,特別適宜于潔凈環(huán)境,且易做防腐處理,特別適用于電子,化工,生物醫(yī)藥,金屬加工,食品加工等領(lǐng)域。凈化和清洗處理,是為了除去在壓縮過程中殘留在干式螺桿式真空泵內(nèi)的氣體和......
kashiyama無油干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。在干式無油真空泵沒有得到廣泛應(yīng)用之前,真空泵客戶使用的,無論是油封泵或者是水環(huán)泵。它們都是用油、水等介質(zhì)作為真空泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、......
等離子設(shè)備利用了常壓等離子技術(shù)來清洗各種活化聚合物、金屬、陶瓷、玻璃和混合材料的表面,對于常壓等離子技術(shù),等離子的生成是由于氣體在大氣壓力下通過高電壓而被激發(fā)。等離子由高壓氣體驅(qū)動從噴嘴中一同噴出。其等離子效應(yīng)可以分為以下兩種:通過等離子束中所攜帶的反應(yīng)粒子實現(xiàn)的表面激活及精密清洗,此外,松散附著于材料表面的微塵將由高......
KashiyamaMU-P系列真空泵-耐腐蝕性、高效率MU100P的構(gòu)造和特征·以MUSeries為基礎(chǔ),提升抗Process的特性。排氣配管采用不銹鋼接口?不會堵塞生成物的直管構(gòu)造?使用保溫材料達到高溫化·特殊表面處理,提升耐腐蝕性·高溫化對策,減少生成物附著MU180P的構(gòu)造和特征·特殊形狀轉(zhuǎn)動部件(大氣側(cè)轉(zhuǎn)動部件......
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