一、臺階樣板

該類樣板主要用來校準(zhǔn)臺階儀、光學(xué)輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺階高度測量儀器。

臺階高度范圍：10nm～100μm；

臺階區(qū)域表面粗糙度Sa：優(yōu)于5.0nm；

臺階區(qū)域均勻性：優(yōu)于15nm；

臺階樣片尺寸：10mm×10mm。

二、光柵樣板

該類樣板主要用來校準(zhǔn)掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。

樣片類型：一維光柵、二維柵格

區(qū)域均勻性：優(yōu)于15nm；

尺寸范圍：100nm～10μm（一維光柵）、2μm～10μm（二維柵格）

線條直線度：優(yōu)于10nm；